德國(guó)圖爾克TURCK電容傳感器應(yīng)用:
電容傳感器可以直接測(cè)量的非電量為:直線位移、角位移及介質(zhì)的幾何尺寸(或稱(chēng)物位),直線位移及角位移可以是靜態(tài)的,也可以是動(dòng)態(tài)的,例如是直線振動(dòng)及角振動(dòng)。用于上述三類(lèi)非
電參數(shù)變換測(cè)量的變換器一般說(shuō)來(lái)原理比較簡(jiǎn)單,無(wú)需再作任何預(yù)變換。
用來(lái)測(cè)量金屬表面狀況、距離尺寸、振幅等量的傳感器,往往采用單極式變間隙電容傳感器,使用時(shí)常將被測(cè)物作為傳感器的一個(gè)極板,而另一個(gè)電極板在傳感器內(nèi)。近年來(lái)已采用這種方法測(cè)量油膜等物質(zhì)的厚度。這類(lèi)傳感器的動(dòng)態(tài)范圍均比較小,約為十分之幾毫米左右,而靈敏度則在很大程度上取決于選材、結(jié)構(gòu)的合理性及寄生參數(shù)影響的消除。精度達(dá)到0.1μm,分辨力為0.025μm。可以實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量,它加給被測(cè)對(duì)象的力極小,可忽略不計(jì)。
測(cè)物位的傳感器多數(shù)是采用電容式傳感器作轉(zhuǎn)換元件。電容式傳感器還可用于測(cè)量原油中含水量、糧食中的含水量等。
當(dāng)電容傳感器用于測(cè)量其他物理量時(shí),必須進(jìn)行預(yù)變換,將被測(cè)參數(shù)轉(zhuǎn)換成d,S或ε的變化。例如在測(cè)量壓力時(shí),要用彈性元件先將壓力轉(zhuǎn)換成d的變化
德國(guó)圖爾克TURCK電容傳感器改善方法:
為了提高電容傳感器的靈敏度、減小界干擾、寄生電容及漏電的影響和減小線性誤差,可采用以下措施:
①由于當(dāng)d減小時(shí)可使電容量加大從而使靈敏度增加,但d過(guò)小容易引起電容器擊穿,一般可以在極板間放置云母片來(lái)改善;
②提高電源頻率;
③用雙層屏蔽線,將電路同電容傳感器裝在一個(gè)殼體中,可以減小寄生電容及外界干擾的影響.
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